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第五百六十四章 打破瓦森纳协定的封锁

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但是,这两种技术都不容易,都面临着技术难关,这就是九十年代最出名的193纳米关卡!

凡是遇到难关的时候,总是有天才出现的,现在也不例外,一个名叫林本坚的鬼才工程师出现了。

当光线透过水之后,频率不变,但是波长会发生变化,这就是水的折射率,所以,只要在光刻机的光源和硅片之间加一层水,让原本的193纳米的激光发生一次折射,不就能大大地降低了吗?

简单计算就能知道,波长会降低到132纳米!

这样,不仅仅能降低了光刻机的波长,刻蚀更加精密的电路,而且,对机器的改动还最小!

要说这个时代的巨头,那就是大名鼎鼎的尼康了。

原因很简单,因为光刻机的本质就是个投影机和照相机,用光来作为刀子,把设计好的电路投射到硅片上,尼康原本就是制造照相机的,属于专业对口,这个年代的尼康,就和后世的阿斯麦一样,手头握着大批的订单,其他工厂的采购人员,天天堵在尼康的大门口等着交货。

不过,九十年代最大的光刻机巨头尼康,衰落也是很快的,这其中有政治上的纠纷,也有技术路线的选择错误。

在芯片领域里,有一个著名的摩尔定律,芯片的性能每隔18到24个月就得翻一倍,这样,芯片的制造技术也得不断地前进才行。

在现在这个时代,其实光刻机的技术还不是很难,毕竟阿斯麦的起家的时候,不过只有三十几个人的团队,甚至就连英特尔等不及尼康的光刻机,自己也可以做几台应急,不过就是把大批的零件买回来,拼拼凑凑,造个特殊的照相机。

以前的就叫做干刻法,现在可以叫做湿刻法了!

林本坚提出来了这项技术,兴致勃勃地跑出去推销,但是,全部都吃了闭门羹!

美国、德国、日本,一个个的光刻机巨头,面对着这个说法都是嗤之以鼻:在精密的机器中加入水,成为一个浸润环境,就不怕水漏了吗?短期来看,这个办法可能会成功,但是长期来看,根本就是在走弯路!

尤其是巨头尼康,决定在157纳米的光源上研究,根本就不搭理林本坚这种歪门邪道。

就像是数码相机一样,当年柯达首先研制出来数码相机,但是害怕因此威胁到胶片的生意,所以他们采用的办法就是将数码相机藏起来,不让别人知道!

尼康的牛逼之处,就是人家是产业链集合,所有的零件都能自己搞定。

但是,在进入九十年代,光刻机的生产商碰到了一个技术关卡:光刻机使用的光源是193纳米的,它就限制了光刻机的继续升级!

想要雕刻东西越精细,刀子就得越锋利,193纳米的激光已经不够细了,接下来该怎么办呢?

尼康作为科技巨头,想的办法也很简单,直接换用157纳米的F2激光,这样就能解决问题了。

而为了对抗尼康成立的EUVLLC联盟则押注更激进的极紫外技术,将光源切换成十几纳米的极紫外光,这样不仅仅能解决现有的问题,还能一直用到以后,刻十纳米以下的芯片制程都没问题。

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